金融界9月18日音讯,拓荆科技发表投资者联系活动记载表显现,公司研发的ALD设备系列产品有PE-ALD设备和Thermal-ALD设备,其间PE-ALD设备已完成量产,能够堆积SiO2、SiN等介质薄膜资料,Thermal-ALD设备已出货至不同客户端做验证,能够堆积Al2O3等金属化合物薄膜。一起,公司的SACVD和HDPCVD设备也已完成产业化。公司将继续坚持产品中心竞赛优势,逐渐扩展量产使用规划。此外,公司晶圆对晶圆键合产品(Dione 300)已经过客户检验,并获得了重复订单,芯片对晶圆键合外表预处理产品(Pollux)已出货至客户端验证。
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